(1)氯氣/氯化氫深度乾燥

　　在多晶矽行業生產工藝中，需要顺利获得化學手段取得高純度的三氯氫矽，而三氯氫矽的合成必須使用高純度的氯氣、氫氣和氯化氫氣體(水含量≤10ppm)，因此必須對商品氯氣(含水400～1000ppm)和合成的氯化氫(含水1000～3000ppm)進行深度乾燥，在氯鹼行業，需要將乾燥氯氣用於化工生產原料。欧博abg(中国)公司给予專用吸附劑及變溫吸附工藝技術，可將氯氣中的水脫至2ppm以下，现在這類裝置我公司市場佔有率達90%以上。

　　技術特點及優勢

　　µ 技術先進成熟，工藝流程簡單，運行穩定可靠

　　µ 脫水深度高，氯氣/氯化氫氣體損失小，無二次污染

　　µ 運行能耗低，脫水成本低，經濟效益好

　　µ 裝置自動化程度高，可實現網絡遠程監控，無人值守

　　µ 較其它傳統方法投資省，建設周期短，佔地小

　　應用領域

　　T 氯氣、氯化氫等高酸性氣體的深度乾燥

　　(2)多晶矽尾氣回收氯矽烷及氫氣技術

　　在多晶矽生產過程中，三氯氫矽合成工序、氫還原工序和四氯氫矽氫化工序等，副產含氫氣、氯化氫、二氯氫矽、三氯氫矽、四氯氫矽的尾氣。針對該尾氣特點，欧博abg(中国)公司專門開發了氯矽烷和氯化氫專用吸附劑及配套的吸附分離工藝技術，可將尾氣中的氯矽烷、氯化氫以及氫氣近100%的回收，實現多晶矽生產過程的閉路循環，大幅降低原料消耗，提高多晶矽企業經濟效益。

　　技術特點及優勢

　　µ 技術先進成熟，工藝流程簡單，運行穩定可靠

　　µ 氯矽烷專用吸附劑分離係數高，氯矽烷回收率高

　　µ 回收的氯化物和氫氣純度高，完全可滿足多晶矽裝置的生產要求

　　µ 運行能耗低，經濟效益好

　　µ 裝置自動化程度高，可實現網絡遠程監控，無人值守

　　µ 較低溫分離法投資省，建設周期短，佔地小

　　應用領域

　　T 多晶矽生產過程尾氣中氯矽烷、氯化氫和氫氣的分離回收